氧化鋁陶瓷基板作為雷達(dá)微波組件的核心部件，其硬脆特性使得傳統(tǒng)加工方法在導(dǎo)通孔加工中存在很多限制。激光加工作為一種非接觸式高能束加工方法，是氧化鋁陶瓷表面孔加工的最優(yōu)選擇。
氧化鋁陶瓷基板作為雷達(dá)微波組件的核心部件，不僅是半導(dǎo)體芯片、電子元器件封裝的機(jī)械支撐載體，而且還提供內(nèi)部電路的互連以及電路散熱的通道。微波組件高頻段、高集成和高散熱的發(fā)展需求，對(duì)陶瓷基板集成器件的密度、性能等的要求不斷提高，對(duì)陶瓷基板微孔及微群孔的加工質(zhì)量和效率的要求越來(lái)越苛刻。
然而，氧化鋁陶瓷基板屬于高硬脆材料，采用傳統(tǒng)加工方法加工極易使其產(chǎn)生裂紋，甚至斷裂，加工廢品率較高，浪費(fèi)了雷達(dá)微波組件的制造。
激光加工作為一種非接觸式加工方式，極其適用于傳統(tǒng)加工工藝無(wú)法加工的高硬度、高脆性及高熔點(diǎn)材料。其加工精度和加工效率高，加工柔性好，極易與計(jì)算機(jī)、信息、機(jī)器人等技術(shù)融合，非常適合高密度群孔加工。雷達(dá)微波組件中氧化鋁陶瓷基板常用的孔結(jié)構(gòu)特征尺寸一般為100～500μm，在激光加工中常采用光束沿一定軌跡旋切的方式進(jìn)行材料去除，以達(dá)到精準(zhǔn)調(diào)控孔特征尺寸的目的。
而且，激光打孔的方法可以控制孔的特征尺寸，孔的形貌特征，如孔出入口表面的噴濺物、孔側(cè)壁的重鑄層、孔口及側(cè)壁的裂紋等，這些都是提高了陶瓷基板微孔加工質(zhì)量的重要因素。
因此，目前國(guó)內(nèi)對(duì)氧化鋁等陶瓷材料激光打孔的研究主要集中在沖擊法打孔與激光燒蝕機(jī)理方面，對(duì)旋切法加工中精準(zhǔn)調(diào)控特定尺寸孔結(jié)構(gòu)的工藝研究較少。
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