隨著激光技術(shù)的迅速發(fā)展,激光焊接技術(shù)也得到了很大的發(fā)展,其應(yīng)用領(lǐng)域也愈來愈廣泛。尤其在微電子激光焊接工藝中,激光焊接更是體現(xiàn)出了其他焊接方法所不可比擬的優(yōu)越性。
激光焊接具有焊接速度快,變形小,可持續(xù)生產(chǎn)、密性高等優(yōu)勢,激光焊接設(shè)備操作簡單方便,能夠在惡劣的環(huán)境下,保質(zhì)保量的完成生產(chǎn)任務(wù)。
激光焊接是利用高能量的激光脈沖對材料進(jìn)行微小區(qū)域內(nèi)的局部加熱,激光輻射的能量通過熱傳導(dǎo)向材料的內(nèi)部擴(kuò)散,將材料熔化后形成特定熔池。可實(shí)現(xiàn)點(diǎn)焊、對接焊、疊焊、密封焊等,深寬比高,焊縫寬度小,熱影響區(qū)小、變形小,焊接速度快,焊縫平整、美觀,焊后無需處理或只需簡單處理。
激光焊接技術(shù)在微電子工藝應(yīng)用中的優(yōu)越性:
1.由于激光是無接觸加工,并且其能量及移動速度均可調(diào),因此可以實(shí)現(xiàn)多種精密加工。
2.可以對多種金屬,非金屬加工,特別是加工微電子工業(yè)中的高硬度,高脆性及高熔點(diǎn)的材料。
3.激光加工過程中,激光束能量密度高,加工速度快,并且是局部加工,因此,其熱影響區(qū)域小,工件熱變形小,后續(xù)加工量小。
4.由于激光束易于導(dǎo)向,聚焦,實(shí)現(xiàn)各方向變換,極易與數(shù)控系統(tǒng)配合,因此它是一種極為靈活的加工方法。
5.生產(chǎn)效率高,加工質(zhì)量穩(wěn)定可靠,經(jīng)濟(jì)效益高。